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2.水平層流式

水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

 

 

3.垂直層流式

房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其他工作區(qū)域。

 

 

4.亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器（HEPA）進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)。

空氣潔凈度等級(jí) Air cleanliness level		100級(jí) Class 100		1000級(jí) Class 1000
氣流 組織 方式 Airflow organization	氣流類(lèi)型	垂直層流 Vertical laminar flow	水平層流 Horizontal laminar flow	亂? 流 Turbulence
	送風(fēng)主要方式 Main mode of air supply	1、頂棚滿布高效空氣過(guò)濾器送風(fēng)（高效空氣 過(guò)濾器占頂棚面積不小于80%） 2、側(cè)布高效空氣過(guò)濾器，頂棚設(shè)阻尼層送風(fēng) 3、全孔板頂棚送風(fēng) 1, the ceiling is covered with high-efficiency air filter air supply (high efficiency air The filter covers no less than 80% of the ceiling area) 2, side cloth high efficiency air filter, the ceiling is provided with damping layer air supply 3, full hole plate ceiling air supply	1、送風(fēng)墻滿布高效空氣過(guò)濾器水平送風(fēng) 2、送風(fēng)墻局部布置高效空氣過(guò)濾器水平送風(fēng) (高效空氣過(guò)濾器占送風(fēng)墻面積不小于40%） 1, the air supply wall is covered with high efficiency air filter horizontal air supply 2, the air supply wall is partially arranged with high-efficiency air filter horizontal air supply (high-efficiency air filter accounts for not less than 40% of the air wall area)	1、孔板頂棚送風(fēng) 2、條形布置高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng) 3、間隔布置帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng) 1, the hole plate ceiling air supply 2, strip layout high efficiency air filter ceiling air supply 3, interval arrangement with diffuser high efficiency air filter ceiling air supply
	回風(fēng)主要方式 Main way of returning to the wind	1、格柵地面回風(fēng) 1）滿布 2）均勻局部布置 1, the grille floor return air 1) Full cloth 2) Uniform local arrangement	1、回風(fēng)墻滿布回風(fēng)口 2、回風(fēng)墻局部布置回風(fēng)口 1, the return air wall is full of air return 2. The return air wall is partially arranged at the return air outlet.	1、相對(duì)兩側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口 2、潔凈室面積較大時(shí)，可采取地面均勻布置回風(fēng)口 1. Evenly arrange the return air inlets on the lower part of the opposite sides of the wall 2. When the clean room area is large, the air return can be evenly arranged on the ground.
送風(fēng)量 Air supply	氣流流經(jīng)室內(nèi)斷面風(fēng)速（米/秒） Airflow through the indoor section wind speed (m / s)	不小于0.25 Not less than 0.25	不小于0.35 Not less than 0.35	——
	換氣次數(shù)（次/時(shí)） Number of ventilations (times/hours)	——	——	不小于50 Not less than 50